ウェハ検査の常識を変える

全ての裏面プロセスを全自動で欠陥検出可能

マルチセンサ技術を備えた高速ウエハ計測・選別システム

特許技術ツインエア方式　高精細ダイレクトコーティングと大幅コスト削減

運べるまで、あきらめない

UV-LED光源を標準搭載　低ランニングコストを実現