SEMICON Japan 2021 Hybrid

- 参加部署:産業機械一部
- 会期:2021年12月15日 10:00~2021年12月17日 17:00
- 会場:東京ビッグサイト(東展示棟)およびオンライン
- 主催:SEMIジャパン
- 出展内容:
エンジニアリング・ラボ製 空圧式塗布装置Twin-Air
アテル製 ウェハ外観検査装置
オプティテック製 欠陥検出装置ED-Scope
永田製作所製 フォトレジスト充填機・洗瓶乾燥機
E&R製 レーザー加工装置、プラズマ加工装置
Sentronics Metrology製 ウェハ多機能測定機 - リンク先:http://www.semiconjapan.org/jp/